LogoLogo

Kang, Namjun. Modeling and experimental study of low pressure inductively coupled discharges

Kang, Namjun (2011) Modeling and experimental study of low pressure inductively coupled discharges.

[img]
Preview
PDF - nécessite un logiciel de visualisation PDF comme GSview, Xpdf or Adobe Acrobat Reader
3396Kb

Résumé en francais

Les plasmas froids basse pression à couplage inductif (ICP) ont été étudiés dans différents gaz (Ar, Xe, Kr, Ne et N2) d'un point de vue cinétique et électrique en utilisant des méthodes de diagnostics des plasmas et en développant des modèles physiques de la décharge. Afin de mieux comprendre la cinétique chimique dans ces différents gaz et mélanges, un modèle global 0D a été développé. Un modèle électrique de la décharge a également été développé afin de mettre en évidence les propriétés électriques de ce type de décharge. Différentes méthodes de diagnostics des plasmas ont été utilisées telles que les sondes de Langmuir, la spectroscopie d'émission optique, la spectroscopie d'absorption et la fluorescence induite par laser. Une nouvelle méthode a été développée afin d'améliorer la précision de la détermination de la température des électrons à partir de la méthode du rapport de raies en fonction de la pression. Cette méthode a été comparée à des mesures effectuées par sonde de Langmuir. Expérimentalement, la production d'atomes d'argon dans un état hautement excité dans une décharge pulsée a été mis en évidence. Par confrontation avec les résultats du modèle global, nous avons montré que cette espèce était majoritairement créée en post-décharge par la recombinaison électron-ion à trois corps. La dissociation de la molécule d'azote a également été étudiée dans des mélanges Ar-N2. Nous avons montré qu'en plasma de N2, les atomes d'azote sont majoritairement créés par dissociation par impact électronique sur N2 à faible pression tandis que la dissociation par impact entre états métastables de N2 est majoritaire à haute pression. Dans les plasmas de mélange Ar-N2, nous avons montré que la recombinaison dissociative responsable de la production de N dépend fortement de la réaction de transfert de charges entre les ions argon et les molécules d'azote.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Gaboriau, Freddy
Oh, Soo-ghee
Ecole doctorale:Génie électrique, électronique, télécommunications (GEET)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire PLAsma et Conversion d'Energie (LAPLACE), UMR 5213
Mots-clés libres :Low pressure ICP discharge - Global model - TALIF - OES - OAS
Sujets :Physique
Déposé le :12 Mar 2012 17:29