Puech, Laurent. Elaboration et caractérisations de couches minces de magnétite pour des applications microbolométriques

Résumé en francais

Des couches minces à base de magnétite sont élaborées afin d'être intégrées comme matériau thermistor dans des microbolomètres pour la détection de rayonnements infrarouges. La pulvérisation par faisceau d'ions (ou IBS) d'une cible de fer pur, en présence d'oxygène, permet d'élaborer des couches minces de 100 nm à base de fer, de wustite, de magnétite ou d'hématite selon la quantité d'oxygène introduite dans l'enceinte de dépôt. Ces dépôts présentent une microstructure colonnaire avec des diamètres de grains compris entre 10 et 20 nm. Ces couches mêlant des grains de tailles nanométriques de magnétite semiconductrice et d'hématite isolante présentent des propriétés de thermistor optimisées. En effet, l'hématite accroît la dépendance de la résistance à la température, alors que la conductivité de la magnétite et la microstructure permettraient de maîtriser le niveau de bruits électroniques. Ces paramètres affectent la sensibilité des microbolomètres aux variations de température de la scène.