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Chouchane, Fares. Confinement électrique et optique dans la filière GaAs : ingénierie libre par oxydation sélective et reprise d'épitaxie

Chouchane, Fares (2012). Confinement électrique et optique dans la filière GaAs : ingénierie libre par oxydation sélective et reprise d'épitaxie.

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Résumé en francais

Pour répondre aux besoins des domaines d'applications, de plus en plus ambitieux, et gagner de nouveaux domaines, les VCSELs continuent à évoluer. On note une tendance des recherches récentes à la miniaturisation des sources VCSELs et à la complexification de leurs architectures pour augmenter leur capacité d'intégration et incorporer de nouvelles fonctionnalités. Cela nécessite la maîtrise et l'adaptation des différentes étapes technologiques dont l'ingénierie du confinement électrique et optique exploitant la technologie d'oxydation sélective humide d'alliages AlGaAs, appelée AlOx. Ce travail de thèse porte, d'une part, sur l'étude des contraintes mécaniques engendrées par le procédé AlOx, qui ont un impact important sur le fonctionnement des VCSELs, leur fiabilité et leur durée de vie. D'autre part, je présente une nouvelle approche planaire de la technologie AlOx basée sur une oxydation d'une couche AlGaAs enterrée à travers des trous nanométriques gravés dans une couche GaAs fine en surface. Cette étape est suivie d'une reprise d'épitaxie par jets moléculaires (EJM) pour continuer l'empilement de la structure du composant. La nouvelle méthode offre une meilleure capacité d'intégration, une meilleure dissipation de chaleur et ouvre vers l'ingénierie libre du confinement opto-électrique.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Almuneau, Guilhem
Fontaine, Chantal
Ecole doctorale:Génie électrique, électronique, télécommunications (GEET)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes (LAAS) - CNRS
Mots-clés libres :Semiconducteurs III-V - Lasers à cavité verticale émettant par la surface (VCSELs) - Oxydation humide sélective (AlOx) - Confinement électrique et optique - Epitaxie par jets moléculaires - Contraintes mécaniques
Sujets :Electricite, électronique, automatique
Déposé le :15 Apr 2013 11:24