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Lafleur, Gaël. Nouvelles architectures de composants photoniques par l'ingénierie du confinement électrique et optique

Lafleur, Gaël (2016). Nouvelles architectures de composants photoniques par l'ingénierie du confinement électrique et optique.

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Résumé en francais

Le confinement électrique et optique par oxydation des couches minces d'AlGaAs est une étape essentielle dans la réalisation des composants photoniques actifs et passifs dans la filière de matériaux GaAs. La recherche de performances ultimes sur ces composants nécessite une meilleure maîtrise du procédé d'oxydation ainsi qu'une meilleure connaissance des propriétés optiques de l'oxyde d'aluminium (AlOx). Dans cette perspective, j'ai d'abord réalisé une étude expérimentale de la vitesse d'oxydation des couches d'AlGaAs en fonction de la température du substrat, de la composition en gallium des couches étudiées, de la pression atmosphérique et de la géométrie des mesas considérés. Puis, j'ai établi un modèle anisotrope permettant une meilleure résolution spatiale et temporelle de la forme du front d'oxydation de l'AlAs. Enfin, j'ai exploité ce procédé pour réaliser des composants d'optique guidée notamment des micro-résonateurs puis réalisé des guides optiques à fente et caractérisé leurs performances optiques.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Calvez, Stéphane
Almuneau, Guilhem
Ecole doctorale:Génie électrique, électronique, télécommunications (GEET)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes (LAAS) - CNRS
Mots-clés libres :Semi-conducteurs III-V - Confinement optique - Oxydation humide d'AlGaAs - Micro-résonateurs à mode de galerie - Guide optique à fente
Sujets :Sciences de l'ingénieur
Déposé le :30 Mar 2017 11:12