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Brousse, Kévin. Intégration de micro-supercondensateurs à hautes performances sur puce de silicium et substrats flexibles

Brousse, Kévin (2018). Intégration de micro-supercondensateurs à hautes performances sur puce de silicium et substrats flexibles.

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Résumé en francais

Le développement de l'internet des objets au service des " Smart Cities " requière des sources d'énergie miniaturisées. Ces travaux concernent la préparation de micro- supercondensateurs à hautes performances par voies sèches. Des films minces de carbure de titane ont été déposés sur wafer de silicium par pulvérisation, puis convertis par chloration partielle en films de carbone dérivé de carbure microporeux adhérents. 205 mF.cm-2 / 410 F.cm-3 ont été délivrés en milieu 1M H2SO4, et 170 F.cm-3 dans un mélange de liquide ionique et d'acétonitrile en contrôlant la taille des micropores. Les micro-supercondensateurs préparés sur wafer par cette voie, compatible avec les techniques de microfabrication utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs, surpassent les performances des micro-supercondensateurs sur puce rapportées jusqu'alors. Enfin, l'écriture laser d'oxydes commerciaux sur polyimide s'est avérée prometteuse pour la préparation de micro-supercondensateurs flexibles.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Simon, Patrice
Taberna, Pierre-Louis
Ecole doctorale:Sciences de la matière (SdM)
laboratoire/Unité de recherche :Centre Interuniversitaire de Recherche et d'Ingénierie des MATériaux (CIRIMAT), UMR 5085
Mots-clés libres :Micro-supercondensateur - Microfabrication - Stockage capacitif - Films minces - Carbone dérivé de carbure - Chloration - Greffage de diazoniums - Ecriture laser - Electrodes flexibles - Oxyde de ruthénium
Sujets :Sciences des matériaux
Déposé le :14 Nov 2018 14:28