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Condé, Moustapha. Composants optoélectroniques à microcavités verticales sur GaAs : Technologies avancées pour de nouvelles fonctions

Condé, Moustapha (2008) Composants optoélectroniques à microcavités verticales sur GaAs : Technologies avancées pour de nouvelles fonctions.

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Résumé en francais

Face à la diversification des domaines d'application en optoélectronique, les émetteurs lasers, dont les VCSELs, évoluent rapidement vers une plus grande capacité d'intégration, ainsi qu'un accroissement de leurs fonctionnalités. Ceci a pour conséquence une sophistication des structures et des géométries de ces composants, impliquant la levée de certains verrous technologiques. Ce travail de thèse porte, d'une part, sur la mise en place d'une méthodologie d'optimisation de la croissance, d'analyse et de diagnostic rapide intégrée au procédé d'épitaxie par jets moléculaires (uniformité, maîtrise des propriétés optiques) démontrée sur de nouvelles structures VCSEL à multicouche complexe. D'autre part, la technologie d'oxydation d'alliages GaAlAs a été étudiée. Ce procédé, appelé AlOx, a ouvert la voie à l'obtention de composants monomodes performants grâce au confinement électro-optique latéral efficace qu'il réalise. Dans le but d'une maîtrise ultime et d'une ingénierie fine de ce confinement, nous avons approfondi la compréhension des cinétiques d'oxydation, mis en place un four avec contrôle en temps réel du front d'oxydation, et étudié une nouvelle technique d'oxydation d'une couche enterrée GaAlAs à partir de la surface. Ce travail contribue au développement des technologies de structurations verticale et latérale dans les composants à microcavité verticale, qui visent à leur ouvrir de nouvelles performances et fonctionnalités.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Fontaine, Chantal
Almuneau, Guilhem
Ecole doctorale:Génie électrique, électronique, télécommunications (GEET)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes (LAAS) - CNRS
Mots-clés libres :Semiconducteurs III-V - Lasers à cavité verticale émettant par la surface (VCSEL) - Epitaxie par jets moléculaires(MBE) - Pompage optique - Oxydation thermique humide de matériaux AlGaAs (AlOx, PAlOx) - Confinements électrique et optique - Contrôle in situ
Sujets :Electricite, électronique, automatique
Déposé le :08 Jul 2009 11:43