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Puig-Pey Gonzalez, Jaime. Influence des procédés de dépôt des couches minces polymères sur leurs propriétés de surface : applications aux microsystèmes

Puig-Pey Gonzalez, Jaime (2008) Influence des procédés de dépôt des couches minces polymères sur leurs propriétés de surface : applications aux microsystèmes.

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Résumé en francais

Les travaux présentés dans ce manuscrit sont axés sur les procédés de dépôt, à la pression atmosphérique, de couches minces polymères. Le but de la thèse était de préciser l'influence de différents paramètres des procédés, sur les structures et propriétés des couches minces déposées. Nous avons, d'une part, étudié les dépôts en voie sèche de polymères isolants thermostables. Nos résultats montrent la faisabilité de déposer du PolyImide par CVD à la pression atmosphérique et mettent en exergue l'influence des paramètres de dépôt sur la structure des couches minces PolyImides déposées. D'autre part, nous avons étudié les dépôts en solution, à la tournette, de polymères conducteurs extrinsèques. Pour cela nous avons choisi d'appliquer le procédé de photolithographie optique à la résine époxyde photosensible SU-8, chargée par des Nano Tubes de Carbone. L'utilisation de plans d'expériences nous a permis d'adapter le procédé, bien connu en microélectronique pour la résine SU-8, aux résines composites, d'optimiser la qualité des mélanges matrice-charge et obtenir des couches minces transparentes et conductrices. En conclusion, ces travaux ont permis de corréler certaines propriétés des couches minces aux paramètres de dépôt, à pression atmosphérique, en voies sèche et humide. In fine, ces recherches ouvrent de nouvelles voies de développement en microélectronique pour fabriquer des couches minces fonctionnelles

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Lamure, Alain
Ecole doctorale:Sciences de la matière (SdM)
laboratoire/Unité de recherche :Centre Interuniversitaire de Recherche et d'Ingénierie des MATériaux (CIRIMAT), UMR 5085
Mots-clés libres :Couches minces polymères - Dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique (AP-CVD) - Photolithographie Optique - PolyImides - Nano composites SU-8 / NTC
Sujets :Sciences des matériaux
Déposé le :27 Oct 2009 19:06