LogoLogo

Laurent, Christopher. Caractérisation expérimentale et optimisation de procédés plasma pour la décontamination de l'AMC (contamination moléculaire aéroportée)

Laurent, Christopher (2016). Caractérisation expérimentale et optimisation de procédés plasma pour la décontamination de l'AMC (contamination moléculaire aéroportée).

[img]
Preview
PDF - nécessite un logiciel de visualisation PDF comme GSview, Xpdf or Adobe Acrobat Reader
10Mb

Résumé en francais

Un problème majeur en microélectronique est la contamination moléculaire aéroportée qui dégrade les substrats et les masques diminuant le rendement de production des composants. L'utilisation de boîtes de transport en polymères pour le stockage des substrats favorise la contamination moléculaire croisée entre les deux éléments. Il est alors primordial d'avoir un procédé de décontamination des boîtes efficace et rapide. Dans le cadre de cette thèse, plusieurs solutions de décontamination par plasmas ont été étudiées. Les plasmas étaient générés selon quatre couplages énergétiques en utilisant des excitations radiofréquence (13,56 MHz) et micro-onde (2,45 GHz). Ils étaient caractérisés avec une sonde de Langmuir et un spectromètre optique sous différentes conditions expérimentales. Enfin, un protocole de contamination au fluorure d'hydrogène a été développé pour évaluer et comparer l'efficacité de décontamination des procédés plasma à ceux utilisés actuellement en microélectronique.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Guillot, Philippe
Caillier, Bruno
Ecole doctorale:Génie électrique, électronique, télécommunications (GEET)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire Diagnostic des Plasmas Hors Equilibre (DPHE), EA 4562
Mots-clés libres :AMC - Procédés basse pression - Plasmas hors-équilibre - Radiofréquence - Micro-onde - Sonde de Langmuir - Spectroscopie d'émission - Décontamination - FOUP
Sujets :Sciences de l'ingénieur
Déposé le :15 Dec 2021 09:55