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Paccard, Caroline. Développement d'outils statistiques pour la mise en place de boucles de régulation en microélectronique

Paccard, Caroline (2008). Développement d'outils statistiques pour la mise en place de boucles de régulation en microélectronique.

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Résumé en francais

En microélectronique, le contrôle des procédés classique n'est plus suffisant pour les nouvelles technologies. Ainsi, un contrôle plus fin du procédé est réalisé à l'aide de boucles de régulation. Cette thèse propose la création et la mise en pratique d'une méthodologie statistique pour la mise en place de boucles de régulation en microélectronique. Cette méthodologie reste générale et peut se transposer aisément à d'autres domaines industriels. Les boucles de régulation nous ont tout d'abord amené à nous interroger sur la fiabilité de la mesure. Nous avons ainsi crée un nouvel indicateur de variabilité de la mesure, appelé capabilité globale, qui s'applique lorsqu'un paramètre est mesuré par plusieurs équipements de métrologie. Une solution opérationnelle a également été proposée par la création et de la mise en production d'un logiciel de calcul de capabilité. Une fois définie la méthodologie de mise en œuvre d'une boucle de régulation, celle-ci est appliquée à un atelier de polissage. Ceci a nécessité une modélisation originale du procédé de fabrication à l'aide du modèle linéaire mixte. Nous avons également comparé et optimisé différents algorithmes de régulation (EWMA, double EWMA, filtre de Kalman...). Pour des raisons évidentes de coût, les différents algorithmes de régulation ne peuvent pas être testés et comparés en production. Nous avons ainsi proposé une simulation du procédé sur la base de données mesurées en production et d'un modèle du procédé. Celle-ci permet de prédire et comparer ce que serait le comportement des algorithmes de régulation en production. Un algorithme optimal a alors été choisi pour l'atelier de polissage.

Sous la direction du :
Directeur de thèse
Besse, Philippe
Ecole doctorale:Mathématiques, informatique, télécommunications de Toulouse (MITT)
laboratoire/Unité de recherche :Laboratoire de Statistique et Probabilités (LSP), UMR 5583
Mots-clés libres :Statistique - Microélectronique - Boucle de Régulation - Run-to-run - Modèle Linéaire Mixte - Capabilité de Mesure - Etude Gauge R&R - Polissage Mécano-Chimique
Sujets :Mathématiques
Déposé le :09 Dec 2009 17:32