Achkar, Hikmat. Modélisation et conception des micro commutateurs RF MEMS à actionnement électrostatique et/ou piézoélectrique

Résumé en francais

MEMS est un système électromécanique à l'échelle du micron comprenant des capteurs ainsi que des actionneurs (micro moteurs, micro miroirs, micro relais...) fabriqués avec les techniques de la micro-électronique conventionnelle (croissance d'oxyde, dépôt de matériaux, lithographie). Les plupart des commutateurs RF MEMS sont actionnés à l'aide des forces électrostatique pour faire changer la distance entre deux électrodes pour couper ou transmettre le signal. Ce type d'actionnement, malgré ces avantages, il a un inconvénient majeur qu'il s'agit du chargement du diélectrique qui mène à l'échec de ce commutateur. Pour résoudre ce problème, on a travaillé en parallèle sur deux axes différents. Le premier axe s'agit de changer le type d'actionnement qui est la raison du chargement en actionnement piézoélectrique tandis que le deuxième consiste à garder l'actionnement électrostatique mais en améliorant le comportement des structures utilisées en augmentant la force de rappel pour surmonter le phénomène du collage sans changer la tension d'actionnement. Une étape a succédé ce travail qui s'agissait d'une validation de la plateforme numérique avant de l'utiliser à modéliser nos structures.